Temiz oda arabalarının ısınmasını beklemeyi bırakın.
Eğer yarı iletkenlerin işlenmesiyle ilgili bir işte çalıştıysanız, bu “bekleme sürecinin” ne kadar sinir bozucu olduğunu bilirsiniz. Belirli bir sıcaklığa ulaşması gereken wafer’ler veya taşıyıcılar var; ancak bunların bir sonraki aşamaya geçmesi için taşınması gerekiyor. İşte tam da burada her şey yavaşlıyor.
Ziyaret ettiğim çoğu işletme hâlâ sıcak hava dolaşımı yöntemini kullanıyor. Bu eski bir yöntemdir. Ancak sorun şu ki: Zorlanarak sağlanan hava akışı oldukça yavaştır. Aslında havanın ısınmasını bekliyorsunuz ve ardından da bu havanın taşınacak malzemelere nüfuz etmesini bekliyorsunuz. Bu da boşa harcanan dakikalar demektir.
Kızılötesi ısıtma çözümü
Kızılötesi ısıtma, havayla uğraşmaz. Enerjiyi doğrudan hedefin yüzeyine gönderir. Sıcak bir odada durarak ellerinizi ısıtmaya çalışmak ile bir kamp ateşinin önünde ellerinizi tutmanın arasındaki farkı düşünün. Temiz oda arabalarında da aynısı olur; ısı neredeyse anında taşıyıcıya ulaşır. Sadece birkaç wafer’i ısıtmak için tüm odayı ısıtmak zorunda kalmazsınız.
Eğer sürecinizde 100°C’lik bir sıcaklık gerekiyorsa, kızılötesi ısıtma bunu birkaç saniye içinde sağlar. Böylece uzun bekleyiş süreleri kısa süreler haline gelir.
Bunu nasıl yapıyoruz?
Bunu mümkün kılmak için, kısa dalga veya orta dalga kızılötesi ısıtıcıları arabaların yapısına entegre ediyoruz. Güç yoğunluğunu yüksek tutarak tüm sistemin fazla yer kaplamasını engelliyoruz.
Dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Kızılötesi ısıtma çok hızlı tepki verir. Bu yüzden sıkı bir PID kontrol döngüsüne ve yükün çok yakınına yerleştirilmiş sensörlere ihtiyaç vardır. Aksi takdirde, sistem henüz sıcaklığın çok yüksek olduğunu fark etmeden hedef sıcaklığa ulaşılır.
Donanım açısından ise kuvars kaplamalı elemanları kullanıyoruz. Bunlar temiz odalar için mükemmeldir; çünkü parçacık yaymaz ve ortama gaz sızmaz.
Eksileri
Ancak kızılötesi ısıtma her şeye çözüm değildir. Sadece düz bir hat üzerinde işe yarar. Eğer arabanızda çok sayıda taşıyıcı varsa, ön taraftakiler hızla ısınırken ortadakiler soğuk kalır. Sadece fan yerine lamba koymak yeterli değildir. Lambaların nereye yerleştirileceğine dikkat etmek gerekir. Bazen bu, ısıyı o soğuk bölgelere iletmek için yansıtıcı malzemeler kullanmayı gerektirir. Aksi takdirde bazı wafer’ler mükemmel derecede ısınırken diğerleri ise neredeyse hiç ısınmayabilir.