บนพื้นโรงงาน Soft Bake และการอบแห้งเวเฟอร์เป็นขั้นตอนที่ไม่อนุญาตให้เกิดการเปลี่ยนแปลง อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงเพียง 1°C สามารถทำให้ขนาดสำคัญเปลี่ยนแปลงได้ และความชื้นที่ตกค้างเป็นสาเหตุโดยตรงของข้อบกพร่อง เราออกแบบเครื่องทำความร้อน AFM ให้คงอยู่ภายในงบประมาณความร้อนที่กระบวนการเวเฟอร์ขั้นสูงต้องการ—ทุกวันอย่างต่อเนื่อง
สิ่งที่สำคัญภายใต้ฝาครอบ
เราเลือกใช้รังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นในซองควอตซ์ เพื่อให้ตอบสนองรวดเร็วและรักษาความคงที่ ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์อยู่ภายใน ±0.1°C ตลอดโซนอบ และความแม่นยำในการตั้งค่าซ้ำอยู่ภายใน ±0.2°C จากรอบหนึ่งไปอีกรอบ แพ็กเกจพร้อมสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1 ถึง Class 100 และเรายืนยันว่าไม่มีการสร้างอนุภาคด้วยการตรวจสอบแบบ in-situ ข้อมูลภาคสนามยืนยัน: กว่า 5,000+ ชั่วโมงการทำงาน ไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
เหตุผลที่ใช้งานได้ดีในลิโธกราฟี
Soft Bake คือขั้นตอนที่ความหนืดของโฟโต้เรซิสต์และการกำจัดตัวทำละลายถูกล็อกให้คงที่ การทำให้ขั้นตอนนี้คงที่จะช่วยลดความแปรผันของความกว้างเส้นและช่วยเพิ่มผลผลิต โปรไฟล์ความร้อนเดียวกันนี้ใช้กับการอบแห้งเวเฟอร์หลังการทำความสะอาดโดยการขจัดความชื้นบนพื้นผิวโดยไม่ทำให้ชั้นวัสดุเสียหาย
คุณจะได้วงจรกระบวนการที่กระชับขึ้น ขยะลดลง และรอยเท้าความร้อนที่คงที่แม้ในช่วงการแยกผลิตภัณฑ์ การใช้พลังงานลดลง และระยะเวลาการบำรุงรักษายาวนานขึ้น—อะไหล่น้อยลง แรงงานน้อยลง
สิ่งที่ต้องเตรียมเพื่อให้เครื่องทำงานได้ดี
วางแผนสำหรับการจ่ายไฟเฉพาะและยืนยันการเชื่อมต่อความร้อนกับเวเฟอร์สเตจ เครื่องทำความร้อนจะทำงานเต็มตามสเปกก็ต่อเมื่อการไหลของอากาศในห้องและค่าการแผ่รังสีตรงตามสูตรกระบวนการ การติดตั้งและตั้งค่าทำได้รวดเร็ว: ปรับอัตราการเพิ่มอุณหภูมิและเวลาการแช่ให้เหมาะกับซ้อนของโฟโต้เรซิสต์ จากนั้นล็อกค่าที่ตั้งไว้
เมื่อเซ็ตค่าเรียบร้อยแล้ว กระบวนการจะทำซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ เครื่องสามารถรองรับรอบการอบแห้งและอบบ่มแบบเปียก-แห้งซ้ำหลายครั้งโดยไม่เสื่อมสมรรถภาพ