Прекратите ждать, пока тележки для транспортировки изделий в чистой комнате нагреются. Если вы работаете в области глубокой обработки полупроводников, вы знаете, насколько раздражает процесс ожидания. У вас есть пластины или карточки, которые должны достичь определенной температуры перед тем, как их можно будет перевести на следующий этап обработки. Но именно при транспортировке все замедляется.
В большинстве заводов, которые я посещаю, до сих пор используется система нагрева с применением горячего воздуха. Это устаревший способ. Но проблема в том, что такой способ работает очень медленно. Вы просто ждете, пока воздух нагреется, а затем ещё ждете, пока он проникнет в изделия. Это трата времени, которого у вас нет.
Решение — инфракрасное обогревание.
Инфракрасное излучение не нуждается в воздухе для передачи тепла. Оно направляет энергию прямо на поверхность изделия. Представьте разницу между тем, когда вы стоите в теплой комнате, чтобы согреть руки, и когда держите руки прямо перед костром. Именно это происходит с тележками для транспортировки изделий в чистой комнате. Тепло достигает изделий почти мгновенно. Вы не тратите энергию на нагрев всей комнаты ради нагрева нескольких пластин.
Если процесс требует температуры 100°C, инфракрасное обогревание позволяет достичь этой температуры за секунды. Это превращает долгое ожидание в быстрый процесс.
Как мы это реализуем
Чтобы это сработало, мы размещаем излучатели коротковолнового или средневолнового инфракрасного излучения прямо в конструкцию тележки. Мы стремимся сохранить высокую плотность мощности, чтобы вся установка не занимала слишком много места.
Важно помнить, что инфракрасное излучение действует очень быстро. Поэтому необходимо использовать точный контроль температуры с помощью датчиков, расположенных близко к изделиям. В противном случае температура может превысить желаемую значение до того, как система сможет это заметить.
Для оборудования мы используем элементы, заключенные в кварцевые корпуса. Они идеально подходят для использования в чистых комнатах, поскольку не выпускают частиц или газы в окружающую среду.
Недостатки
Инфракрасное обогревание не является решением для всех случаев. Оно работает только в прямой линии. Если тележка заполнена изделиями, то те, что находятся сзади, будут нагреваться, а те, что посередине, останутся холодными. Нельзя просто заменить вентилятор на лампу и считать, что все в порядке. Необходимо тщательно планировать расположение ламп. Иногда это требует использования отражающих поверхностей для направления тепла в те зоны, где оно не достигается. В противном случае некоторые пластины будут совершенно горячими, а другие — едва теплыми.