Mantendo suas lâmpadas IR seguras em zonas químicas
Quando se limpa os waferes, geralmente se lida com produtos químicos voláteis e, francamente, inflamáveis. Agora, adicione algumas lâmpadas de infravermelho de alta intensidade à mistura… e teremos um cenário de desastre. A última coisa que alguém quer é que ocorra uma explosão durante o processo de produção.
Para evitar isso, paramos de usar projetos com elementos expostos. Em vez disso, envolvemos tudo em invólucros especiais.
Evitando faíscas
Pense nisso: uma pequena faísca ou uma superfície quente em contato com os vapores dos solventes pode causar uma explosão. É um cenário terrível.
É por isso que envolvemos nossas lâmpadas IR em invólucros de quartzo de alta pureza, e fixamos as extremidades com juntas resistentes aos produtos químicos. Isso cria uma barreira entre o elemento gerador de calor e o ar ao redor dele.
Também garantimos que o invólucro seja hermético. Assim, caso haja vazamento de produtos químicos na câmara, esses vapores não conseguem entrar no invólucro da lâmpada ou alcançar os terminais elétricos. Isso evita o perigo.
Escolhendo os materiais certos
Usamos emissores de infravermelho de onda curta. Por quê? Porque eles direcionam a energia diretamente para a superfície do wafer. Eles não perdem tempo aquecendo o ar ao redor ou o próprio invólucro, o que mantém a superfície externa da lâmpada mais fria.
E, por favor, não economize nos selos. Juntas baratas acabam se deteriorando e causando vazamentos. Usamos selos feitos de fluoropolímero, pois eles não se deterioram mesmo em condições corrosivas. Eles simplesmente mantêm tudo fechado.
Os trade-offs
Mas há um problema: ao colocar um invólucro protetor ao redor da lâmpada, você adiciona uma camada de material entre a fonte de calor e o wafer. Isso faz com que haja uma perda parcial do fluxo de calor. Não é um problema grave, mas será necessário ajustar as configurações de potência ou aumentar o tempo de funcionamento da lâmpada para compensar isso.
Mais uma coisa: verifique se os ventiladores de resfriamento estão funcionando corretamente. Se o calor se acumular dentro do invólucro, o filamento da lâmpada vai se queimar muito mais rápido do que o esperado.