Het behouden van de veiligheid van uw IR-lampen in chemische omgevingen
Wanneer u wafers schoont, heeft u te maken met chemicaliën die zeer ontvlambaar zijn. Voeg daar nog eens hoogintensieve infrarode (IR)-lampen aan toe, en u hebt een situatie die tot een ramp kan leiden. Niemand wil immers dat er brand uitbreekt middenin het productieproces.
Om dit te voorkomen, gebruiken we geen lampen met een open ontwerp meer. In plaats daarvan worden alle componenten afgesloten in een geïncapsuleerde behuizing.
Het voorkomen van vonken
Stel je voor: één kleine vonk of een hete oppervlakte die in contact komt met oplosmiddeldampen, en er volgt een explosie. Dat is een nachtmerriescenario.
Daarom wikkelen we onze IR-lampen in hoge-kwaliteit kwartsmaterialen. De uiteinden van de lampen worden afgesloten met dempingen die bestand zijn tegen chemicaliën. Hierdoor ontstaat er een solide barrière tussen het verhittings-element en de lucht eromheen.
We zorgen er ook voor dat de behuizing gasdicht is. Op deze manier kunnen eventuele chemicaliedampen niet in de behuizing komen of de elektrische verbindingen bereiken. Hierdoor blijft het gevaar buiten.
Het kiezen van de juiste materialen
We kiezen voor IR-emitters met korte golflengten. Waarom? Omdat ze de energie rechtstreeks op het oppervlak van de wafer richten. Ze verspillen geen tijd aan het opwarmen van de omringende lucht of de behuizing zelf. Hierdoor blijft het buitenste deel van de lamp koeler.
En vergeet vooral de dempingen niet goed te controleren. Goedkope dempingen kunnen na verloop van tijd verslechteren en gaan lekken. We gebruiken dempingen gemaakt van fluoropolymers, omdat deze niet beschadigen wanneer ze in contact komen met corrosieve stoffen. Ze blijven gewoon stevig zitten.
De nadelen
Er is echter wel een nadeel: wanneer u een beschermende laag om de lamp heen plaatst, creëert u een extra laag materiaal tussen de warmtebron en de wafer. Hierdoor gaat er wat warmte verloren. Het is geen groot probleem, maar u moet de sterkte van de lamp aanpassen of de lamp langer laten werken om dit te compenseren.
Nog één tip: controleer uw koelmachines. Zorg ervoor dat ze goed functioneren. Als er te veel warmte ontstaat in de behuizing, zal de gloeidraad sneller kapotgaan dan nodig is.