Menghentikan Kebocoran Tenaga pada Tahap Pencucian
Sejujurnya, memanaskan udara secara keseluruhan hanya untuk mengeringkan wafer merupakan pembaziran tenaga. Ia sama seperti memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan secawan kopi sahaja. Sistem pemanasan konvensional atau resistif biasanya menyebabkan tenaga terbuang sia-sia.
Itulah sebabnya kami beralih kepada lampu inframerah yang tahan air. Daripada memanaskan udara, lampu ini memanaskan permukaan wafer secara langsung. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk menghasilkan haba.
Mengurangkan Penggunaan Karbon dan Kos Operasi
Jika anda ingin mencapai sasaran “Pabrik Hijau”, anda perlu melihat di mana tenaga tersebut digunakan. Ketuhar tradisional menyebabkan haba bocor ke mana-mana. Dengan memberi fokus tenaga tepat ke tempat yang diperlukan, penggunaan kilowatt-jam untuk setiap wafer dapat dikurangkan.
Selain itu, anda tidak perlu menunggu lama agar sistem berfungsi dengan baik, atau membuang tenaga ketika sistem sedang tidak digunakan. Sistem ini sangat efisien. Jejak karbon anda akan berkurangan, dan kecekapan proses pemanasan juga meningkat. Ini merupakan situasi yang menguntungkan bagi semua pihak.
Mengatasi Masalah Kotoran
Tahap pencucian wafer memerlukan penanganan yang hati-hati. Kelembapan yang tinggi, wap kimia, dan kelembapan di sekeliling wafer menyukarkan proses pemanasan. Jika menggunakan tiub kuarsa biasa, ia akan rosak atau teroksidasi.
Untuk mengelakkan perkara ini, lampu-lampu ini dilindungi oleh kulit luar yang tahan air, beserta terminal yang tahan kelembapan. Dengan cara ini, tiada air yang masuk ke dalam lampu, dan lampu tidak akan rosak lebih awal. Hanya haba yang boleh digunakan untuk memanaskan wafer.
Tergantung pada jenis bahan kimia yang digunakan, kami biasanya menggunakan lampu inframerah gelombang pendek atau sederhana. Gelombang pendek sangat efektif kerana ia dapat menembusi lapisan kelembapan dengan cepat, sehingga wafer dapat dikeringkan dalam masa yang singkat.
Perkara yang Perlu Diperhatikan
Ini bukan sekadar masalah “sambungkan saja dan lupakan”. Lampu inframerah berkepadatan tinggi menghasilkan haba yang banyak di satu kawasan tertentu. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, masalah akan timbul. Anda tidak mahu sensor proses menjadi tidak tepat kerana lampu menjadi terlalu panas.
Tips: Gunakan kawalan PID berbilang lingkaran. Ia akan membantu menjaga kestabilan suhu, supaya wafer tidak terbakar secara tidak sengaja.
Pastikan juga bekalan kuasa stabil. Fluktuasi voltan boleh merosakkan tiub kuarsa, dan itu merupakan masalah yang tidak diinginkan. Namun, setelah kabel dan sistem penyejukan disusun dengan baik, ini merupakan pengganti yang efisien untuk sistem pemanasan yang lambat.