Fermare la perdita di energia nelle fasi di risciacquo
Siate onesti: riscaldare intere quantità d’aria solo per asciugare dei wafer è uno spreco. È come riscaldare tutta la casa soltanto per scaldare una tazza di caffè. La maggior parte dei sistemi di riscaldamento tradizionali spreca energia inutilmente.
Ecco perché abbiamo optato per lampade a infrarossi impermeabili. Invece di riscaldare l’aria, queste lampade agiscono direttamente sulla superficie dei wafer. È un modo molto più efficace per gestire il calore.
** Riducendo le emissioni di carbonio e i costi**
Se volete raggiungere gli obiettivi legati alla produzione “verde”, dovete capire dove va effettivamente spesa l’energia. I forni tradizionali sprechano calore ovunque. Concentrando l’energia esattamente dove è necessario, si riducono i kilowatt-orari consumati per ogni wafer.
Inoltre, non è necessario aspettare a lungo che il sistema si accenda o sprecare energia mentre è in funzione inutilmente. Il sistema funziona semplicemente bene. La vostra impronta di carbonio diminuisce, e l’efficienza aumenta. È davvero una soluzione vincente.
Gestire il disordine
Le fasi di risciacquo sono particolarmente difficili: c’è alta umidità, vapore chimico e umidità ovunque. Se si utilizzano tubi di quarzo normali, questi si danneggiano o si ossidano. Per evitare questo, le lampade vengono avvolte in involucri impermeabili dotati di terminali resistenti all’umidità. Nessuna infiltrazione d’acqua, nessun guasto prematuro. Solo calore affidabile.
A seconda delle sostanze chimiche utilizzate, solitamente si preferiscono lampade a infrarossi a breve o media lunghezza d’onda. Quelle a breve lunghezza d’onda sono ottime, poiché permettono di penetrare più velocemente gli strati di umidità, facendo sì che i wafer si asciughino in tempi molto più brevi.
I problemi da considerare
Non si tratta semplicemente di collegare la lampada e dimenticarsene. Le lampade a infrarossi ad alta densità producono molto calore localizzato. Se non si sistemano correttamente i ventilatori di raffreddamento, ci saranno problemi. Non vorrete certo che i sensori del processo funzionino male a causa del troppo calore generato dalla lampada.
Un consiglio utile: utilizzare un controllore PID a circuito chiuso. Questo mantiene tutto sotto controllo, evitando così che i wafer si danneggino accidentalmente.
Inoltre, assicuratevi che l’alimentazione elettrica sia stabile. I picchi di tensione possono danneggiare l’involucro di vetro della lampada, il che rappresenta un problema da evitare a tutti i costi. Ma una volta sistemata la cablaggio e il sistema di raffreddamento, si tratta di una soluzione efficace e pulita per sostituire quei vecchi dispositivi di riscaldamento.