Come proteggere le lampade a infrarossi nelle zone chimiche
Quando si puliscono i wafer, di solito si hanno a che fare con sostanze chimiche volatili e, francamente, infiammabili. Se si aggiungono poi delle lampade a infrarossi ad alta intensità, si crea una situazione pericolosa. L’ultima cosa che chiunque voglia è che si verifichi un incendio durante il processo di produzione.
Per evitare questo, abbiamo smesso di utilizzare lampade con elementi termici scoperti. Invece, avvolgiamo tutto in strutture protettive.
Prevenire gli scatti elettrici
Basta pensare a cosa potrebbe succedere: una piccola scintilla o una superficie calda a contatto con i vapori dei solventi può causare un’esplosione. È uno scenario terribile.
Ecco perché avvolgiamo le lampade a infrarossi in sleeves di quarzo ad alta purezza, e fissiamo le estremità con guarnizioni capaci di resistere alla presenza di sostanze chimiche. In questo modo si crea una barriera tra l’elemento riscaldante e l’aria circostante.
Ci assicuriamo anche che la struttura esterna della lampada sia ermetica. In questo modo, se dovesse verificarsi una perdita di sostanze chimiche, tali vapori non potranno entrare nella struttura della lampada né raggiungere i terminali elettrici. In questo modo si elimina il rischio di incendi.
Scegliere i materiali giusti
Utilizziamo emettitori a infrarossi a breve lunghezza d’onda. Perché? Perché trasmettono l’energia direttamente sulla superficie del wafer. Non sprechano energia nel riscaldare l’aria circostante o la struttura stessa della lampada, il che permette di mantenere la superficie esterna della lampada più fresca.
Inoltre, non bisogna trascurare i sistemi di sigillamento. Le guarnizioni economiche si deteriorano facilmente e causano perdite. Noi utilizziamo guarnizioni a base di fluoroconduttori, poiché non si deteriorano nemmeno in condizioni corrosive.
Gli svantaggi
C’è però un aspetto negativo: quando si utilizza una struttura protettiva intorno alla lampada, si aggiunge uno strato di materiale tra la sorgente di calore e il wafer. Questo fa sì che si perda un po’ di calore. Non è un problema grave, ma è necessario regolare i parametri di alimentazione o aumentare il tempo di funzionamento della lampada per compensare questa perdita.
Un altro aspetto importante è controllare i ventilatori di raffreddamento. Bisogna assicurarsi che siano efficienti. Se il calore si accumula all’interno della struttura protettiva, il filamento della lampada si distruggerà molto più rapidamente del previsto.