
Berhentilah menunggu hingga troli di ruang bersih tersebut mencapai suhu yang diinginkan.
Jika Anda pernah bekerja di bidang pengolahan semikonduktor, pasti Anda mengenal betapa menyebalkannya proses menunggu ini. Ada wafer atau komponen lain yang perlu mencapai suhu tertentu sebelum bisa dipindahkan ke tahap berikutnya. Namun, proses pengangkutan inilah yang memperlambat proses tersebut.
Sebagian besar pabrik yang saya kunjungi masih menggunakan sistem pemanasan dengan udara panas. Itu merupakan cara lama untuk memanaskan sesuatu. Masalahnya adalah, udara panas yang dihasilkan bergerak sangat lambat. Anda harus menunggu hingga udara tersebut menjadi panas, lalu menunggu lagi agar udara tersebut dapat meresap ke dalam benda yang dipanaskan. Hal ini membuang-buang waktu yang tidak bisa kita habiskan begitu saja.
Gunakanlah teknologi pemanasan inframerah.
Teknologi pemanasan inframerah tidak memerlukan udara sebagai mediator. Energi dipancarkan langsung ke permukaan benda yang akan dipanaskan. Bayangkan perbedaan antara berdiri di ruangan yang hangat untuk memanaskan tangan, dibandingkan dengan memegang tangan di depan api unggun. Itulah yang terjadi pada troli di ruang bersih. Panasnya langsung sampai ke benda yang dipanaskan. Dengan demikian, energi tidak dibuang sia-sia untuk memanaskan seluruh ruangan hanya untuk memanaskan beberapa wafer saja.
Jika prosesnya membutuhkan suhu 100°C, teknologi inframerah dapat mencapainya dalam hitungan detik. Dengan demikian, proses menunggu yang membosankan dapat diubah menjadi proses yang cepat.
Bagaimana cara menerapkannya?
Untuk membuatnya berfungsi, kita memasang elemen pemanas inframerah berfrekuensi pendek atau sedang ke dalam kerangka troli tersebut. Kita juga memastikan densitas energinya tinggi, agar keseluruhan sistem tidak membutuhkan ruang yang terlalu besar.
Hal yang perlu diperhatikan: teknologi inframerah bereaksi sangat cepat. Karena itu, kita membutuhkan kontrol PID yang efektif, serta sensor yang ditempatkan sangat dekat dengan benda yang dipanaskan. Jika tidak, suhu benda tersebut bisa melebihi batas yang diinginkan sebelum sistem menyadari hal tersebut.
Untuk perangkat kerasnya, kita menggunakan elemen pemanas yang dilapisi kuarz. Elemen ini sangat cocok digunakan di ruang bersih, karena tidak mengeluarkan partikel atau gas ke lingkungan sekitar.
Kekurangannya
Teknologi inframerah bukanlah solusi sempurna untuk segala situasi. Teknologi ini hanya efektif jika digunakan secara langsung. Jika troli tersebut penuh dengan benda yang akan dipanaskan, bagian depan troli akan panas, sementara bagian tengahnya tetap dingin. Anda tidak bisa sekadar mengganti kipas dengan lampu dan menganggapnya sudah cukup. Anda perlu memastikan bahwa lampu tersebut ditempatkan dengan tepat. Terkadang, diperlukan bantuan reflektor untuk memantulkan panas ke bagian-bagian yang kurang panas. Jika tidak, beberapa wafer akan panas sempurna, sementara yang lainnya masih hangat saja.