Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Jika Anda pernah berurusan dengan wafer sensor MEMS, pasti Anda tahu betapa sulitnya proses pengeringan tersebut. Sebuah titik air kecil atau tekanan mekanis yang berlebihan selama proses pengeringan saja sudah cukup untuk merusak seluruh wafer tersebut. Kita membutuhkan panas, tetapi panas tersebut harus diberikan secara tepat.
Itulah mengapa kami menggunakan gelombang inframerah pendek (IR). Alih-alih membuang-buang waktu untuk menghangatkan udara di dalam ruangan, IR memberikan energi secara langsung ke permukaan wafer. Cara ini lebih efisien, cepat, dan lebih masuk akal.
Membuat Perangkat Lunak Lebih “Cerdas”
Di pabrik-pabrik modern, kita tidak hanya menyalakan tombol lalu berharap semuanya berjalan lancar. Kami menggunakan array IR yang terhubung ke sistem digital. Keuntungan dari sistem ini adalah kemampuannya untuk bereaksi secara instan. Berkat kecepatan ini, kita dapat melihat bagaimana panas menyebar di permukaan wafer secara real-time. Data tersebut dikirim kembali ke PLC, sehingga setiap sensor pada wafer dapat dikeringkan dengan kecepatan yang sama. Tidak perlu menebak-nebak lagi.
Menyeimbangkan Semua Faktor
Namun, ada tantangan tersendiri. Untuk mendapatkan kepadatan panas yang dibutuhkan, kita biasanya menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi. Masalahnya adalah, ketika energi sebanyak itu dimasukkan ke dalam ruang yang kecil, suhu akan naik dengan cepat. Jika kita ingin mencapai target pengeringan yang diinginkan, sistem pendinginan harus sangat bagus agar bisa menangani panas yang dihasilkan. Jika sistem pendinginan tidak efektif, wafer akan rusak, dan itu merupakan situasi yang tidak diinginkan oleh siapa pun.
Meninggalkan Metode Lama
Kami juga telah meninggalkan relay-relay lama yang tidak efisien. Sekarang, kami menggunakan kontroler PWM (Pulse Width Modulation) untuk mengelola daya. Cara ini memberikan kontrol yang lebih baik. Jika ketebalan wafer berubah, kita hanya perlu mengubah pengaturan di software. Tidak perlu mengganti perangkat keras setiap kali proyek berubah. Ini jauh lebih baik dibandingkan metode konvensional yang membutuhkan waktu lama dan tidak memberikan informasi yang akurat tentang apa yang sebenarnya terjadi di dalamnya.
Pada akhirnya, penggunaan IR langsung jauh lebih efektif. Proses pengeringan menjadi lebih cepat, peralatan yang digunakan juga lebih hemat ruang, dan hasilnya pun lebih baik. Dengan demikian, proses produksi tetap berjalan lancar.