अपने क्लीन रूम ट्रॉलियों के गर्म होने का इंतज़ार करना बंद करें।
यदि आपने सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में काम किया है, तो आपको “इंतज़ार करने” की परेशानी का अनुभव होगा। वेफरों/कैरियरों को अगले चरण में भेजने से पहले उन्हें एक निश्चित तापमान तक पहुँचना होता है… लेकिन परिवहन की प्रक्रिया में ही समय बर्बाद हो जाता है।
मैंने जिन भी कारखानों का दौरा किया, वहाँ अभी भी गर्म हवा का उपयोग किया जा रहा है… यह तो पुरानी विधि है। लेकिन समस्या यह है कि ऐसी विधि में हवा को गर्म होने में ही कई मिनट लग जाते हैं… और फिर उस गर्म हवा को वेफरों तक पहुँचने में भी समय लगता है… यह तो बेकार ही समय बर्बाद होना है।
इन्फ्रारेड का उपयोग
इन्फ्रारेड तकनीक में हवा की कोई आवश्यकता ही नहीं है… यह ऊर्जा को सीधे वेफरों की सतह तक पहुँचाती है। कल्पना कीजिए… गर्म कमरे में खड़े होकर हाथों को गर्म करने की तुलना में, आग के सामने हाथों को गर्म करना कितना आसान है… ठीक ऐसा ही क्लीन रूम ट्रॉलियों में भी होता है… ऊर्जा तुरंत ही वेफरों तक पहुँच जाती है… इस तरह पूरे कमरे को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
यदि आपकी प्रक्रिया में 100°C तापमान की आवश्यकता है, तो इन्फ्रारेड तकनीक इसे कुछ ही सेकंडों में पूरा कर देती है… ऐसे में इंतज़ार का समय भी कम हो जाता है।
इसे कैसे बनाया जाता है?
इसे कार्यान्वित करने हेतु, हम शॉर्टवेव/मीडियमवेव इन्फ्रारेड उत्सर्जकों को ट्रॉली के फ्रेम में ही लगाते हैं… हम पावर डेंसिटी को ऊँचा रखते हैं, ताकि पूरी स्थापना में ज्यादा जगह न लगे।
एक बात ध्यान में रखने योग्य है… इन्फ्रारेड बहुत तेज़ी से कार्य करता है… इसलिए आपको एक अच्छा PID कंट्रोल सर्किट एवं सेंसरों की आवश्यकता है… अन्यथा, सिस्टम को तापमान बढ़ने का एहसास होने से पहले ही आपका लक्ष्य तापमान प्राप्त हो जाएगा।
हार्डवेयर के लिए, हम क्वार्ट्ज-एनकेस्ड तत्वों का ही उपयोग करते हैं… ये क्लीन रूमों के लिए बेहतरीन हैं… क्योंकि ये कोई कण या गैसें बाहर नहीं छोड़ते।
सीमाएँ
इन्फ्रारेड तकनीक हर समस्या का समाधान नहीं है… यह केवल सीधी रेखा में ही कार्य करती है… यदि ट्रॉली में बहुत सारे कैरियर हैं, तो सामने वाले कैरियर तो गर्म हो जाएँगे, लेकिन बीच वाले कैरियर ठंडे ही रहेंगे… आप बस पंखे की जगह लैंप लगाकर काम नहीं चला सकते… आपको लैंपों को सही जगह पर ही लगाना होगा… अन्यथा, कुछ वेफर तो ठीक रहेंगे, लेकिन अन्य वेफर ठंडे ही रहेंगे।