Comment protéger vos lampes infrarouges dans les zones chimiques
Lorsque vous nettoyez des wafer, vous avez généralement affaire à des produits chimiques volatils et, franchement, inflammables. Ajoutez à cela des lampes infrarouges à haute intensité, et vous avez là une véritable source de désastre. Ce que personne ne veut, c’est qu’une étincelle se produise au milieu d’un processus de production.
Pour éviter cela, nous avons cessé d’utiliser des lampes à élément exposé. Au lieu de cela, nous enveloppons tout dans un revêtement spécial.
Éviter les étincelles
Imaginez : une petite étincelle ou une surface chaude en contact avec des vapeurs de solvants suffit pour provoquer une explosion. C’est un scénario cauchemardesque.
C’est pourquoi nous enveloppons nos lampes infrarouges dans des gaines en quartz de haute pureté, et nous scellons leurs extrémités avec des joints capables de résister aux produits chimiques. Cela crée une barrière entre l’élément chauffant et l’air environnant.
Nous nous assurons également que la coque de la lampe soit hermétique. Ainsi, en cas de fuite de produits chimiques, ces vapeurs ne peuvent pas pénétrer dans la coque de la lampe ni atteindre les bornes électriques. Cela permet d’éliminer tout risque.
Choisir le bon matériau
Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes. Pourquoi ? Parce qu’ils transmettent l’énergie directement sur la surface du wafer. Ils ne gaspillent pas d’énergie à chauffer l’air environnant ou la coque elle-même, ce qui permet de garder la surface extérieure de la lampe plus froide.
Et surtout, ne négligez pas les joints de fermeture. Des joints bon marché s’usent rapidement et finissent par fuir, ce qui entraîne des problèmes. Nous utilisons des joints en fluoropolymère, car ils ne se détériorent pas même face à des substances corrosives. Ils restent efficaces.
Les compromis
Il y a cependant un inconvénient : en ajoutant une couche protectrice autour de la lampe, on crée une barrière entre la source de chaleur et le wafer. On perd donc un peu de flux thermique. Ce n’est pas un problème majeur, mais il faudra ajuster les paramètres de puissance ou prolonger légèrement le temps d’exposition pour compenser.
Un dernier conseil : vérifiez bien vos ventilateurs de refroidissement. Assurez-vous qu’ils sont suffisamment puissants. Si la chaleur s’accumule à l’intérieur de la coque, le filament de la lampe risque de se brûler beaucoup plus rapidement que prévu.