
আর অপেক্ষা করবেন না—আপনার ক্লিন রুম ট্রলিগুলো যেন উত্তপ্ত হওয়ার জন্য।
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে কাজ করে থাকেন, তাহলে অপেক্ষা করার এই কষ্টটা আপনি ভালোভাবেই জানেন। ওয়েফারগুলোকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় নিয়ে যেতে হয়; কিন্তু পরিবহনের কারণেই সবকিছু ধীর হয়ে যায়।
আমি যেসব কারখানা দেখেছি, সেখানে এখনও হট এয়ার সার্কুলেশন ব্যবহৃত হয়। এটা পুরানো পদ্ধতি। কিন্তু সমস্যা হলো—ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করলে প্রক্রিয়াটি খুবই ধীর হয়ে যায়। আপনাকে অপেক্ষা করতে হয় যতক্ষণ না বাতাসটি উত্তপ্ত হয়, আর তারপর আবার অপেক্ষা করতে হয় যতক্ষণ না সেই উত্তপ্ত বাতাসটি ওয়েফারগুলোতে প্রবেশ করে। এতে অপ্রয়োজনীয়ভাবে সময় নষ্ট হয়।
ইনফ্রারেড ব্যবহার করুন।
ইনফ্রারেড হিটিং-এ বাতাসের কোনো প্রয়োজন নেই। এটা সরাসরি লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠে শক্তি পাঠায়। কল্পনা করুন—গরম ঘরে দাঁড়িয়ে হাত গরম করার চেয়ে, ক্যাম্পফায়ারের সামনে হাত রাখলে কী হয়।
ক্লিন রুম ট্রলিতেও ঠিক এমনই ঘটে। তাপ তৎক্ষণাৎ ওয়েফারগুলোতে পৌঁছায়। আপনাকে পুরো ঘরটিকে উত্তপ্ত করার জন্য অপচয় করতে হয় না।
যদি আপনার প্রক্রিয়ার জন্য ১০০°C তাপমাত্রা প্রয়োজন হয়, তাহলে ইনফ্রারেড কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই সেই তাপমাত্রা অর্জন করে। এতে অপেক্ষার সময়টা দ্রুত কমে যায়।
আমরা কীভাবে এটা তৈরি করি?
এটা কাজ করানোর জন্য, আমরা শর্টওয়েভ/মিডিয়ামওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারগুলোকে ট্রলির ফ্রেমে স্থাপন করি। শক্তির ঘনত্ব বেশি রাখা হয়, যাতে পুরো সিস্টেমটি খুব বেশি জায়গা না নেয়।
একটি বিষয় মনে রাখতে হবে—ইনফ্রারেড খুব দ্রুত কাজ করে। তাই আপনাকে ভালো PID কন্ট্রোল সিস্টেম ব্যবহার করতে হবে, আর সেন্সরগুলোকে লোডের খুব কাছে রাখতে হবে। নাহলে, সিস্টেমটি বুঝতে পারার আগেই আপনার লক্ষ্য তাপমাত্রা অতিক্রম হয়ে যাবে।
হার্ডওয়্যারের ক্ষেত্রে, আমরা কোয়ার্টজ-এনক্লোজড উপাদানগুলো ব্যবহার করি। এগুলো ক্লিন রুমের জন্য উপযুক্ত, কারণ এগুলো কোনো কণা বা গ্যাস নির্গত করে না।
সীমাবদ্ধতা
ইনফ্রারেড সব ক্ষেত্রেই কার্যকর নয়। এটা শুধুমাত্র সরল রেখায় কাজ করে।
যদি ট্রলিটিতে অনেক ওয়েফার থাকে, তাহলে সামনের ওয়েফারগুলো উত্তপ্ত হয়ে যাবে, কিন্তু মাঝখানের ওয়েফারগুলো ঠান্ডাই থাকবে। আপনি শুধুমাত্র ফ্যানকে ল্যাম্প দিয়ে প্রতিস্থাপন করলেই হবে এমন নয়।
আপনাকে ল্যাম্পগুলো কোথায় রাখবেন সে বিষয়ে সতর্ক থাকতে হবে। কখনও কখনও রিফ্লেক্টিভ ব্যাকিং ব্যবহার করে তাপটিকে সেই অঞ্চলগুলোতে পাঠানো প্রয়োজন। নাহলে, কিছু ওয়েফার নিখুঁত থাকবে, আর অন্যগুলো ঠান্ডাই থাকবে।