توقفوا عن استخدام الأضواء التي تنتج الأوزون؛ للحفاظ على نظافة رقائق السيليكون باستخدام مصابيح بدون أوزون.
في عمليات الإنتاج ذات الحمل العالي، فإن انفجار إحدى المصابيح ليس مجرد “عطل تقني”، بل هو كابوس حقيقي.
فشق واحد في أنبوب الكوارتز يؤدي إلى تطاير شظايا الزجاج والمواد الكيميائية على سطح رقائق السيليكون، وبذلك تصبح جميع الرقائق غير صالحة للاستخدام. إنه خطأ باهظ التكلفة، لكن يمكن تجنبه إذا تم تصميم المصابيح بشكل صحيح من البداية.
مشكلة الأوزون
معظم المصابيح ذات الموجات القصيرة تصدر إشعاعًا بطول موجة حوالي 185 نانومتر. المشكلة هي أن هذا الإشعاع يتفاعل مع الأكسجين لينتج الأوزون. وفي بيئة أشباه الموصلات، يعتبر الأوزون عدوًا مدمرًا.
نحن نتغلب على هذه المشكلة باستخدام أنابيب كوارتز عالية الجودة، حيث تساعد هذه الأنابيب في تصفية أشعة الفوق بنفسجية. وبذلك يظل الهواء هادئًا، ولا تتأكسد أسطح الرقائق. إنها طريقة بسيطة جدًا.
الحفاظ على سلامة الأنبوب
استخدام هذه المصابيح بشكل مستمر يسبب ضغطًا حراريًا كبيرًا على الكوارتز. إذا لم يستطع المادة تحمل هذا الضغط، فإنها ستتشوه، وبالتالي تنشق.
لذلك نستخدم كوارتزًا مصنوعًا من مواد عالية الجودة، فهو لا يتمدد أو ينكمش بنفس القدر مقارنة بالمواد الرخيصة، وبالتالي يظل مستقرًا حتى عند استخدامه بشكل مستمر.
لكن هناك نصيحة مهمة: لا تعتمدوا فقط على الكوارتز عند استخدام المصابيح بأقصى قدرة. يجب استخدام غلاف واقٍ أو شبكة لحماية الرقائق من الشظايا. يمكن اعتبار ذلك نوعًا من التأمين. إذا انفجر الفيلامنت أو تشقق الزجاج، فإن الغلاف الواقي سيحمي الرقائق من الضرر.
انتبهوا إلى نقاط التثبيت
هذه الأنابيب تولد كمية كبيرة من الحرارة، وهذا الضغط يتركز في نقاط التثبيت. هنا يخطئ الكثيرون؛ إذا كانت نقاط التثبيت محكمة جدًا، فلن يكون لدى الزجاج مكان للتمدد، وبالتالي سينشق.
يجب أن تتركوا مساحة كافية للمصابيح، واستخدموا نقاط تثبيت مناسبة. هذا سيحمي الأجهزة من الضرر أثناء العمل المستمر، وسيساعد في استمرار عملية الإنتاج.