على أرض المصنع، تفشل عملية تقطيع الرقاقة بالليزر عندما يبدأ ميزانية الحرارة للرقاقة في الانحراف. بقايا الفوتوريزست، الشقوق الدقيقة، تفتت الحواف—معظم هذه المشكلات تعود إلى سبب واحد: التسخين غير المستقر وغير المتساوي تحت الرقاقة أثناء دعم التقطيع. تحتاج إلى مسخن يحافظ على درجة الحرارة ضمن ±0.1°C عبر المنطقة الفعالة، ويقوم بذلك دون إضافة جزيئات إلى خط الإنتاج.
ما هو المهم، من الناحية الفنية
قمنا بتصميم مسخن دعم تقطيع الرقاقة بالليزر حول عنصر منخفض الكتلة الحرارية ومحسن للأشعة تحت الحمراء القريبة (NIR). استجابة نقطة الضبط أقل من ثانية، لذلك لن تنتظر طويلاً. تبقى درجة الحرارة موحدة ضمن ±0.1°C عبر منطقة دعم الرقاقة، والتكرار بين الدورات يحافظ على ميزانية الأبعاد الحرجة سليمة. النظام مصنف لفئة غرف نظيفة Class 1–100، مع التحقق من عدم توليد جزيئات عبر المراقبة الميدانية. التحكم مغلق الحلقة، مع تعويض متعدد المناطق للقضاء على النقاط الساخنة مباشرة عند مسارات التقطيع.
لماذا هو مستقر في الممارسة
تم تصميم هذا المسخن للخطوات التي تنفذها فعليًا: تجفيف الرقاقة، الخبز الناعم والخبيث للفوتوريزست، معالجة تصلب تغليف التعبئة، والتجفيف بعد التنظيف. في عمليات الطباعة الحجرية، يثبت ملف الخبز الناعم بحيث تبقى عرض الخط وزاوية الجدار الجانبي ضمن المواصفات. في التعبئة، يوفر تكرارًا في حركيات التصلب دون تجاوز يؤدي إلى تشوه الركائز. في دعم التقطيع، يسخن الرقاقة مسبقًا لتقليل الصدمة الحرارية، مما يحسن من قوة الرقاقة ويقلل من الهدر. النتيجة هي تقليل دفعات إعادة العمل، استقرار أوقات الدورة، وتوفير طاقة قابل للقياس بسبب استهداف التسخين وكفاءته.
ما الذي يجب أن تصححه
التكامل بسيط، لكن تحقيق توحيد ±0.1°C يتطلب استخدام مواد واجهة حرارية متطابقة والحفاظ على استواء ميكانيكي محكم. تحقق من تسامحات الحامل أو قطعة الدعم قبل التركيب. إذا انخفض جهد الخط تحت الحد الأدنى، ستلاحظ انخفاضًا مؤقتًا، لذلك في المناطق التي تشهد تقلبات في الشبكة، نوصي باستخدام مثبت جهد محلي. عند الإعداد الصحيح، يعمل الجهاز بشكل موثوق 24/7، وتظهر بيانات الميدان تشغيلًا مستمرًا لأكثر من 5,000 ساعة مع انحراف خرج ضئيل.