في أرض المصنع، يكفي وجود علامة ماء واحدة لتدمير شريحة. التجفيف القياسي يترك تدرجات حرارية، وهذه التدرجات تحتجز الرطوبة. هذا يعني أن التصاق فوتو الريست يفشل ويؤثر على العائد. لقد قمنا ببناء جهاز إصدار الأشعة تحت الحمراء الهالوجيني لإزالة هذا التباين عن الطاولة.
ما الذي يهم حقًا تحت السطح
يعتمد الجهاز على مصابيح الكوارتز الهالوجينية ذات الموجات القصيرة، مما يوفر أشعة تحت حمراء سريعة، في خط الرؤية. عبر المنطقة المسخنة، نحافظ على اتساق درجة الحرارة ضمن ±0.1°C، لذا يحصل كل شريحة على نفس الميزانية الحرارية. تم ضبط هندسة السلك العازل والعاكس للتكرار في الخبز اللين والخبز الصلب، مما يحافظ على استقرار ملفات الفوتو ريست الحرجة، جولة بعد جولة. تم تضمين إمكانية الاستخدام في غرفة نظيفة: مواد منخفضة انبعاثات، نهايات محكمة، وتشطيب سطحي يحافظ على توليد الجسيمات عند الصفر. يعمل النظام على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع بخرج مستقر، ويدعم عمر المصباح أكثر من 5000 ساعة مع الحد الأدنى من انحراف الخرج.
لماذا يناسب هذا النهج العملية
ليس تجفيف الشريحة مجرد حرارة. إنه يتعلق بإدارة الواجهة بين الماء، الفيلم، والنمط. يجفف ملف الأشعة تحت الحمراء الشريحة بسرعة دون تجاوز، لذا يبقى الفوتو ريست ضمن المواصفات. تحصل على أوقات دورة أسرع دون التخلي عن السيطرة على الخط، وتضيق نافذة العملية - عدد أقل من عمليات إعادة العمل، وعدد أقل من دفعات الخردة. يقطع الاقتران المباشر للأشعة تحت الحمراء سحب الطاقة، وبما أن الملف قابل للتكرار، فإنك تقضي وقتًا أقل في الضبط والمزيد من الوقت في الشحن.
بعض الملاحظات العملية
يعمل الجهاز بشكل أفضل مع خط رؤية مباشر إلى الشريحة، ويحتاج إلى محاذاة بصرية دقيقة. تنخفض الكثافة عند المسافة التربيعية، لذا يجب أن تكون الفجوة العاملة ثابتة ومعايرة. أنت تنظر إلى كثافة طاقة قصوى أعلى من الحمل الحراري، لذا اجعلها متوافقة مع مرحلة مستقرة حراريًا لتجنب النقاط الساخنة المحلية. التكامل سهل، لكن الكتلة الحرارية لرأس المصباح تعني أنه يجب عليك الانتباه إلى تسلسل التبريد في الأداة.